始建于1959年
主要技術(shù)指標(biāo):
◆ 內(nèi)腔直徑(mm):2800、3000、3600等;
◆ 使用整體平面工件盤(pán)時(shí):工件直徑不超過(guò)φ2400mm,邊緣厚度不超過(guò)400mm,工件及夾具總重量不超過(guò)10噸,工件轉(zhuǎn)速3-10rpm/min;
◆ 使用三行星平面工件盤(pán)時(shí):工件直徑不超過(guò)φ1100mm,邊緣厚度不超過(guò)250mm,工件及夾具總重量不超過(guò)1噸,工件轉(zhuǎn)速3-30rpm/min;
◆ 極限真空:≤8×10-5 Pa(24 小時(shí)內(nèi));
◆ 常溫狀態(tài)下,真空室排氣由大氣至壓強(qiáng)2×10-3Pa,排氣時(shí)間≤25min;
◆ 250℃烘烤狀態(tài)下,真空室排氣由大氣至壓強(qiáng)2×10-3Pa,排氣時(shí)間≤45min;
◆ 下烘烤,最高溫度300℃,控溫精度≤±1℃;
◆ 烘烤至200℃時(shí),溫度不均勻性≤±5℃(徑向5點(diǎn)測(cè)試)
◆ 漏氣率:≤1.0×10-4Pa?m3/s;
◆ 膜厚片內(nèi)均勻性:≤±2%(電子束蒸發(fā)源制備Al2O3、SiO2兩種單層薄膜,延半徑方向均分十點(diǎn)測(cè)試);
◆ 膜厚片間均勻性: ≤±2%(批次內(nèi)5片,每片取平均值)
◆ 膜厚批間重復(fù)性:≤±2% (連續(xù)3批,每批次取平均值) ;
控制程序:
◆ 19U標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜,專(zhuān)用控制臺(tái)操作;
◆ 基于微軟WPF開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)一鍵式操作程序,保證鍍膜重復(fù)性;
◆ 采用excel文件編輯工藝參數(shù),軟件直接調(diào)用運(yùn)行即可完成整個(gè)鍍膜工藝流程,無(wú)需額外操作;
◆ 軟件自動(dòng)生成詳細(xì)的工藝過(guò)程運(yùn)行記錄和鍍膜信息記錄;
◆ 記錄文件可回溯,歷史數(shù)據(jù)曲線可查看,時(shí)間期限為1年內(nèi);
◆ 可將TFC和Macload軟件設(shè)計(jì)參與導(dǎo)入到工藝流程內(nèi);
◆ 膜層狀態(tài)界面可查看厚度、時(shí)間、速率、功率等鍍膜信息;
◆ 關(guān)鍵部件根據(jù)實(shí)際使用情況,有維護(hù)時(shí)間顯示,即節(jié)約成本,又便于維護(hù);
◆ 完備的互鎖功能,防止誤操作;
◆ 程序設(shè)有三級(jí)權(quán)限,便于管理及維護(hù)。
即可輕松獲取該產(chǎn)品報(bào)價(jià)
我們將嚴(yán)格保護(hù)您的隱私,并請(qǐng)保持聯(lián)系方式暢通…
中國(guó)真空領(lǐng)域具有核心競(jìng)爭(zhēng)力的高技術(shù)企業(yè)
Copyright © cdzkws.com All Rights Reserved.
成都中科唯實(shí)儀器有限責(zé)任公司 版權(quán)所有